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记微电子领域杰出青年学者王娟博士

  王娟博士在河北工业大学信息工程学院从事教学科研工作。河北工业大学是隶属于河北省的一所国家“211工程”高校,是中华人民共和国教育部与河北省人民政府、天津市人民政府共建的 “双一流”高校。参加工作15年以来王博士获得了不少的荣誉,例如曾获天津技术发明奖、是中国电子学会电子信息科学技术奖获得者、获中国科技报研究会论文一等奖。在教学工作中,在全国多媒体课件大赛中获奖。还作为重要骨干,帮助团队获得中国科技部“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项科研先进集体奖励,当时只有五个团队获得此项荣誉。国家重大科技专项是为了实现国家目标,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程,是我国科技发展的重中之重。

  在学术与科研方面,王娟博士保持活跃,是中国雷达行业协会会员,中国电子学会会员,中国微米纳米技术学会会员。也取得了连串令人瞩目的成果,主持完成厅局级项目一项,作为第二研发骨干与团队共同完成“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项一期课题一项,与他人合作完成省部级项目5项,另与河北工业大学微电子技术与研究所的同事共同努力,获得了国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项二期的项目,正在研发当中。第一作者发表科技论文20余篇,10篇左右被EI收录,出版专著一部,参编2部;在团队的精诚合作下,申报成功河北省协同创新中心以及河北省优秀创新团队。硅溶胶霉变杂质的性质及其抑制方法研究成果被认定为国内领先水平,填补了相关领域的某些空白。

  在成果转化方面,王娟博士为骨干的团队目前取得了一系列专利:发明专利超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的纯化方法、超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的稳定方法、锑化铟晶片碱性化学机械抛光后的表面洁净方法、Ti阻挡层材料化学机械抛光后的表面洁净方法、美国发明专利METHOD FOR REMOVING CONTAMINANTS FROM SILICON WAFER SURFACE、大尺寸单晶硅片表面有机物沾污的红外反射检测方法等等。相关专利和科研技术在实际应用中获得了广泛好评,中国工程物理研究院,中国科学院,清华大学,无锡华润微电子有限公司,深圳深爱半导体有限公司等客户给予了积极的反馈和高度评价。

  学生学术教育方面,王娟博士参与研究生复试及毕业论文评审工作,指导本科学生毕业设计及论文并参与评审,多篇指导论文获校优。参加电子科学与技术系安排学科的工程认证评估工作;参加院里组织的重点学科的评估工作以及重点实验室的申报工作等。

  当今中国经济处于提质增量的关键阶段,杰出人才是不可或缺的核心推动力,王娟博士为代表的青年科研骨干是中国科技发展的中坚力量,也是中国由中国制造走向中国创造的保障。